據中國電子報報道稱，微機電系統，也就是Micro-Electro-MechanicalSystem。該工藝簡稱MEMS工藝，以半導體微細加工技術和超精密機械加工技術為基礎，集微傳感器、微執行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控制電路、接口等于一體。
國內傳感器廠商在傳感器MEMS工藝研發上的阻礙重重。資料圖
2010年時，陀螺儀在智能手機中的采用率還僅為9%，如今幾乎每部手機都會用到一到兩個陀螺儀。目前看來，一部中高端智能手機采用的MEMS傳感器已多達十幾顆，包括組合慣性導航傳感器(陀螺儀、加速度傳感器、磁力計)、壓力傳感器、振蕩器、CMOS圖像傳感器、RF元件、硅麥克風、指紋傳感器等。
當下的全球消費類慣性傳感器市場主要被國際巨頭所瓜分。意法半導體和博世抓住了組合慣性傳感器這一巨大市場迅速成為MEMS廠商的龍頭，目前意法半導體處于消費類慣性傳感器的領導地位，占據四成市場份額，博世占據一成份額。
應美盛作為全球前20大MEMS企業中完全以MEMS器件為主的企業，專注于消費電子用MEMS產品，憑借先進的設計及運動感測應用平臺占據一成以上的市場份額，而且目前仍然還處于上升勢頭。旭化成的市場份額和應美盛相當，其余的諸多企業只剩下20%多的市場空間。
賽迪智庫集成電路研究所副所長林雨說，MEMS產業鏈和集成電路相似，也分為設計、制造、封測、設備等環節。但由于其具有微機械的結構特征，需要有別于IC的獨特加工技術，目前我國雖然已經建成了一些MEMS生產線，但是在工藝制程研發上相對落后，主要瞄準能夠大批量生產的低端MEMS產品，難以承擔特殊工藝生產。
他說，國內MEMS產業雖然正在快速崛起中，但是與國外先進水平相比仍有不小差距，產業鏈整體上比較落后。受MEMS工藝、制造技術的制約，整個芯片產業基礎薄弱，MEMS產業鏈上缺乏規模企業，初創型設計企業居多。相比起國際主流企業，國內MEMS企業出貨量都比較小，沒有積累起大規模市場驗證反饋的經驗，在可靠性、穩定性等規模生產工藝技術方面差距巨大。
另外，很多國內廠商在硬件方面很舍得花錢，都是進口的高端設備，動輒幾億元。但在技術、人才方面的投入相對來說就很不夠。但是MEMS壓力傳感器的制造，看的不光是設備，更取決于代工企業的加工水平。一條生產線的投資需要十幾億元，一個晶圓代工廠里要配套幾十個設計師，這不是一般的設計企業能夠負擔的。對于國內各地在建的生產線來說，要把眼光從設備轉移到人才培養和工藝研發上，特別是要培養具備晶圓廠管理經驗的人才。
同時，MEMS和IC芯片一樣，具有很強的規模效應，國內企業的出貨量缺乏，導致整個產業鏈特別是前端流片等環節加工能力比較薄弱，一致性、生產重復性都不能滿足設計的加工要求。因此整個MEMS產業鏈均處于投入階段，盈利比較困難。
