MEMS傳感器七大分類

   MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。它具有體積小、質量輕、成本低、功耗低、可靠性高、技術附加值高，適于批量化生產、易于集成和實現智能化等特點。下面小編給大家介紹一些MEMS傳感器七大分類：

　　MEMS傳感器通常被分為以下7類。

　　1、壓力傳感器：絕對壓力傳感器和計量壓力的傳感器。

　　2、熱學傳感器：溫度和熱量傳感器。

　　3、力學傳感器：力、壓強、速度和加速度傳感器。

　　4、化學傳感器：化學濃度、化學成分和反應率傳感器。

　　5、磁學傳感器：磁場強度、磁通密度和磁化強度傳感器。

　　6、輻射傳感器：電磁波強度傳感器。

　　7、電學傳感器：電壓、電流和電荷傳感器。

　　除了上面介紹的幾種典型MEMS傳感器外，還有許許多多的MEMS傳感器，如用于微觀判斷的MEMS觸覺傳感器、MEMS生物傳感器、MEMS圖像傳感器等。在不同環境中，MEMS傳感器的技術應用也是不同的。